“师父"的称呼最早是在唐代开始的，比“师傅"出现得晚，和"师傅"称呼完全相同，既有泛指从事教学工作的老师，如“臣虽驽劣不才，窃服师父之训";也有特指帝王的老师，如"乘箕入相，就三命而作盐梅;投钓升朝，封四履而称"师父"。唐朝以后"师父"开始用来指具有特殊技能的人。南唐尉迟偓的《中朝故事》记载唐咸通年间，有个幻术艺人在京城表演。在一次表演失败后，他向观众赔礼致歉说:"某乍到京国，未获拜所有高手，在此致此。小术不行，且望纵之，某当拜为师父"。北宋费衮的《梁溪漫志》记载，高邮强盗尉九，疾足善走，日行数百里，气势猛壮，白天吃喝，夜则为盗。有一天早食时，被一个道人"呼为师父，且拜之"。这里一个善于幻术，一个疾足善走，都是具有特殊技能的人。

在元朝时期，“师父"往往用作对和尚、道士的尊称。如耶律楚材的《湛然居士集.寄万松老人书》中，有“嗣法弟子从源顿首再拜师父丈室”之语;"锡号帝师"的著名僧人八思巴，当时士人大都称他为"师父"。《元史.刑法志》中，也有“诸僧道盗其亲师祖、师父及同师兄弟则者"之